流体の制御はおまかせください。
気体・液体・液体気化・固体昇華などの流量制御の専門メーカーです。 |
● 気体や液体をあらゆる流量計を用いて瞬時流量や体積流量で精度良く
計測し質量流量や体積流量にて制御計測します。
● 液体や粉体を気化(昇華)させて、気体にして瞬時流量や積算流量を
精度良く計測し質量流量や体積流量にて制御計測します。
● 各種流量計に国家標準とトレーサビリティの取れた流量標準を校正
する、校正設備を構築します。
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(半導体製造装置ガスパネル)
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流量制御技術のスペシャリスト |
我々は、流量の制御技術を得意としています。
気体の流量制御を始め、液体の気化技術、固体(粉体)の昇華技術を
持って流体の制御技術を提供致します。
流量標準の国家トレーサビリティのご相談も承ります。
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実績材料 |
○各種半導体製造用ガス
○活性ガス
○爆燃ガス
○水
○SiCL4
○GeCL4
○TEOS
○トルエン
○灯油
○軽油
その他ご要望にお応えします。
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